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多孔空气轴承是由多孔碳材料制成的轴承,其上形成有数百万个亚微米级的细孔。 当向细孔的轴承面供给气压时,在支撑面和轴承面之间形成空气膜,从而实现非接触操作。 空气轴承的多孔碳表面即使在不供气的情况下也能更好地保护轴承,即使在不供气的情况下也能使它们移动而不会损坏支撑面。 目前的滚动轴承在半导体制造、高精度扫描、高速设备等应用中面临技术局限,而空气轴承由于没有摩擦磨损小,具有诸多技术优势。
Advantages | Result |
---|---|
Zero Friction | Fast Settling Time, Precise High Acceleration |
Zero Wear | No Particle |
Smooth & Silent Motion | No Stiction, High Scanning Resolution |
Eliminate Lubrication | Oil-Free Environment, Self Cleaning Effect |
Straighter Motion | Wider Sweet Spot |
Higher Damping | Air Film Cushion |
High Speed |
Increase Speed |
Acceleration | No Extra Mass |
空气轴承通常分为孔式或多孔空气轴承。 小孔节流的空气轴承传统上是使用最广泛的方法,但多孔空气轴承由于其众多优点和不断提高的有效性而迅速获得认可。 小孔节流的空气轴承结合凹槽控制空气量,这些凹槽通过尺寸精确的小孔将压缩空气均匀分布到轴承表面。 如果轴承表面在凹槽或孔附近被划伤或损坏,可能会导致压力损失和气隙保持失败,即使在正常供气压力下也会导致轴承碰撞。
多孔空气轴承通过多孔物质中的数百万个孔将压缩空气均匀分布在整个轴承表面,从而控制空气量。 出于这个原因,多孔空气轴承可以正常运行而不会出现任何问题,因为即使在出现严重划痕后,流动也不会受到干扰,并且整个表面上的气压几乎保持均匀。 它还具有负载能力、更高的刚性和更好的气膜高度稳定性。